一、什么是晶圆?
晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片
二、晶圆分析
晶圆分析的重要性
晶圆是半导体制造的重要原材料之一,它是一种表面平整、具有高反射性能的材料。通过对晶圆进行有效的分析,可以了解晶圆的质量和缺陷,进而影响整个半导体制造的工艺流程。在进行晶圆分析时,需要注意以下几个方面:表面缺陷分析
晶圆表面可能存在各种缺陷,如划痕、凸起、凹坑等。这些缺陷会影响晶圆的反射性能和透射性能,进而影响半导体制造的精度和稳定性。通过表面缺陷分析,可以及时发现并处理这些缺陷,提高晶圆的合格率。厚度分析
晶圆的厚度是影响半导体制造精度的重要因素之一。如果晶圆的厚度不均匀,会导致反射性能和透射性能的波动,进而影响整个制造工艺流程。通过厚度分析,可以确保晶圆的厚度一致性,提高半导体制造的精度和稳定性。折射率分析
折射率是影响光在晶圆中传播速度的重要因素之一。如果折射率不匹配,会导致光在晶圆中发生散射,进而影响半导体制造的精度和稳定性。通过折射率分析,可以确保光在晶圆中传播的稳定性,提高半导体制造的可靠性。晶圆分析是一项重要的半导体制造工艺流程,通过对晶圆进行有效的分析,可以确保半导体制造的质量和稳定性。随着半导体制造技术的不断发展,晶圆分析的重要性也将越来越受到重视。
如何进行晶圆分析
在进行晶圆分析时,需要采用一系列的技术和方法,包括表面检测、厚度测量、折射率测量等。这些技术和方法需要专业的技术人员和设备来进行操作和实施。以下是一些常见的晶圆分析方法:表面检测技术
表面检测技术包括光学显微镜、扫描电子显微镜、红外反射仪等。这些技术可以用于检测晶圆的表面缺陷和反射性能,为晶圆分析提供重要的数据支持。厚度测量方法
厚度测量方法包括激光测厚仪、超声波测厚仪等。这些方法可以用于测量晶圆的厚度,确保其一致性,为半导体制造提供重要的数据支持。折射率测量方法
折射率测量方法包括光谱仪、干涉仪等。这些方法可以用于测量晶圆的折射率,确保光在晶圆中传播的稳定性,为半导体制造提供重要的数据支持。 此外,还需要注意一些其他因素,如环境因素、人员因素等对晶圆分析的影响,以确保分析结果的准确性和可靠性。总的来说,进行晶圆分析需要专业的技术人员、先进的设备和严格的操作流程。三、什么是玻璃晶圆?
玻璃晶圆是随着半导体、光学等领域高新技术的发展而出现的一种新型玻璃制品,相比于传统的玻璃镜片、玻璃晶圆具有表面质量要求更高、尺寸更薄、加工精度更精密、表面光洁程度要求更严苛等特点。
现有技术的半导体工艺设备,如光刻机,等离子刻蚀机,是针对半导体材料晶圆,特别是硅晶圆设计的,机械手普遍采用850nm红光传感器。刻蚀设备工作台主流是静电吸附被加工的晶圆。常用的光学材料如石英玻璃、K9玻璃,在红光是透过的,传感器无法探测,在半导体设备上无法传送,同时由于是绝缘材料,在静电场中不产生感应电荷,因而无法在常规等离子刻蚀设备上工艺。为了解决该问题,通常采用在晶圆表面覆盖金属膜的方法,存在以下技术缺陷:金属膜容易被机械手划伤,同时金属离子会沾污机械手,导致成品率低,严重的甚至会报废整批产品;如果改造设备,耗资巨大,会影响原来的硅晶圆产线。
如何设计一种玻璃晶圆结构,如何使晶圆在半导体设备上正常加工,如何金属膜不易被机械手划伤,成为急需解决的问题。
四、什么是晶圆lot?
晶圆lot就是指柱状晶圆体。
将圆片沿着划片槽切割出来的电路单元叫die,圆片叫wafer,柱状体叫晶圆lot。ic生产时过程中将一批wafer同时下炉制造,因此lot指生产批次号,一般一个lot为24片wafer,工程批的时候也可为12片/lot。wafer就是整个圆片(晶圆),晶圆lot指的是一组wafer一般是12个。晶圆lot是说其实一炉子不只出一盘wafer,一般几盘放一起做叫一个批次,材料的配比相同工艺流程相同。这同一批次叫一个晶圆lot有些属性是通的。所以晶圆lot就是同一批出来的十二只晶圆盘片。
五、什么是sio晶圆?
硅晶圆:晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。硅晶圆就是指硅半导体电路制作所用的硅晶片,晶圆是制造IC的基本原料。
六、晶圆是晶振吗?
我们在新闻报道中经常听到“晶圆 ”和“芯片”两个词,而“晶振”则少得多。这主要是因为现在的电子产品,大家大多时候只关注其最核心的部分——CPU(中央处理)。而CPU也是芯片的一种,两者都是集成电路。在电脑中,主芯片也就是CPU需要和其他的芯片组一起完成指令的收发、运算和执行,如果是CPU是心脏,那么芯片就是躯干。
七、晶圆片为什么是圆的?
晶圆片的由来,是先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆母片;由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此这些晶圆还必须切出一个边,当做类似三角形的「底」,所以晶圆长得并不像家里的DVD是标准的圆,而是被切掉一个边,成为有「底」的圆
八、什么是晶圆蓝膜?
晶圆蓝膜指的是一种太阳光谱选择性吸收涂层,是沉积在相关金属表面,用来收集太阳能的吸收涂层,属新一代太阳能利用技术。
其对太阳辐射能具有极高的吸收率,且其自身发射率很低,可有效提高太阳能光热转换效率,蓝膜,就是蓝钛。因为其色彩呈现蓝色,故而得名。
九、晶圆代工是指什么?
现在的 CPU GPU 等等的芯片什么的都是从晶圆片上切出来的
一大片晶圆可以切成很多的芯片
越靠近圆中心的理论上质量越好
质量较差的就做成型号较低的 (还有良率问题)
所谓晶圆代工,就是专门帮忙生产晶圆片
目前有名的代工厂有台湾的台积电、联电等等
如 Intel、AMD、nVidia 都有找他们代工